你在電子元件、面板、半導體或生物科技相關產業上班嗎？如果是的話，相信你有相當大的機會在無塵室中工作，你確定你每天穿的無塵衣有符合無塵室的等級嗎？或是你是一個被指派負責規畫無塵室的專案人員，要建立怎樣的無塵室等級才足夠呢？
這一切都要從無塵室等級的規範說起，所以今天，就讓良品工研所跟大家說明一下，無塵室的等級是怎麼定義的？又是遵循那些國際規範呢？我們還會順便介紹一些無塵室中常見的設備，幫助你們更了解無塵室！
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無塵室是什麼？
無塵室不是真的毫「無」灰塵
其實無塵室並不是真的「一塵不染」毫無塵埃，事實上在現實中也不可能做到這樣，無塵室的英文為 clean room，意即潔淨室，代表在一定的空間中，微塵粒子(Particle) 的數量低於某個級數，而級數越低，代表此空間中的微塵粒子越少。
下方影片是 ASML 艾司摩爾(全球最大晶片微影設備製造商)的無塵室參訪，有興趣的朋友可以看看喔！
無塵室等級怎麼定義
FED-STD-209E (FEDERAL STANDARD 209E)
FED-STD-209E 為美國製定的聯邦標準，是較早期的規範，已於 2001年11月停用改採 ISO 14644-1 標準，但因業界已普遍熟悉，多沿用至今，像常聽到的 Class 1,000 或 Class 10,000，就是美國的 FED 聯邦標準。
註：表上方的顆粒尺寸代表大於該尺寸的所有顆粒，例：0.3 µm 為包含所有大於 0.3 µm 之微塵粒子。
由表格中可知，Class 10 代表 1 立方英尺(ft³)中大於 0.5 µm 的微塵粒子數量不超過 10，Class 1000 代表 1 立方英尺(ft³)中大於 0.5 µm 的微塵粒子數量不超過 1000。其實當初對級距的定義，就是由每立方英尺(ft³)中大於 0.5 µm 的微塵粒子數量從 1 開始每 10 倍做一個級距，至於為什麼是立方英尺(ft³)，美國人嘛，當然是用英尺囉。
ISO 14644-1
ISO 14644-1 是現行世界上最新的無塵室等級標準，與 FED-STD-209E 不同的地方是，他的分級命名並不是以每立方英尺(ft³)內，大於 0.5 µm 微塵粒子有多少而定，而是以每立方公尺內，大於 0.1 µm 的微塵粒子有多少，並以 10 的幾次方來命名等級，例如 10 的 2 次方即為 Class 2、10 的 4 次方即為 Class 4。
註：表上方的顆粒尺寸代表大於該尺寸的所有顆粒，例：0.3 µm 為包含所有大於 0.3 µm 之微塵粒子。
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FED-STD-209E 與 ISO 14644-1 等級之換算
因為業界許多無塵室設備、甚至無塵衣，都還是習慣以 FED-STD-209E 之標準來訂定規格，你可以參考下方的表格來做換算成 ISO 14644-1，不要再兩者傻傻分不清了！
無塵室中的設備
無塵室傳遞箱
外部要與無塵室傳遞東西怎麼辦呢？是否只能由人員著無塵衣拿著物品一次次地做空氣浴進入無塵室呢？不用那麼麻煩啦！有一種設備叫做傳遞箱，可作為無塵室與外界的緩衝並避免交叉污染，箱體內部亦裝有空氣噴嘴，對物品做空氣浴就好啦！
圖片來源：櫻豪實業，櫻豪實業致力於辦公室、公司隔間工程，不停累積施工經驗，不斷精進技術與知識，提供客戶最優質完善的服務。
空氣浴塵室
人員進入無塵室當然要先把身上的微塵粒子吹除，總不可能拿吹風機慢慢吹吧，這時候空氣浴塵室就派上用場啦！人員進入後，強勁的氣流會帶走汙染源，以達到降低外界汙染物進入的風險。
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自動捲門式空氣浴塵室
若要進入無塵室的物品體積較大，無法通過一般的空氣浴塵室，就要使用這種捲門式的大型浴塵室啦，前方配有電動捲門，方便快速進出，若你有大型物品常進出的需求，可以考慮安裝這種捲門式浴塵室。
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壓力平衡器
許多無塵室為了防止外界微塵粒子入侵，都會採取正壓的方式，亦即無塵室內部壓力較外界大，空氣則會從無塵室往外部流動，因此就不會將外界的污染物帶進無塵室。此裝置可以調節無塵室與外部的壓差，達到調節壓力的效果。
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